1、XPS（X射线光电子能谱分析）分析方法包括：元素的定性分析，可以根据能谱图中出现的特征谱线的位置鉴定除H、He以外的所有元素。

【资料图】

2、2、元素的定量分析，根据能谱图中光电子谱线强度（光电子峰的面积）反应原子的含量或相对浓度。

3、3、固体表面分析，包括表面的化学组成或元素组成，原子价态，表面能态分布，测定表面电子的电子云分布和能级结构等。

4、XPS的原理是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。

5、以光电子的动能/束缚能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图。

6、从而获得试样有关信息。

7、扩展资料：X射线光电子能谱分析的依据：XPS主要依据X射线的穿透作用、差别吸收、感光作用和荧光作用。

8、由于X射线穿过人体时，受到不同程度的吸收，如骨骼吸收的X射线量比肌肉吸收的量要多，那么通过人体后的X射线量就不一样。

9、这样便携带了人体各部密度分布的信息，在荧光屏上或摄影胶片上引起的荧光作用或感光作用的强弱就有较大差别，因而在荧光屏上或摄影胶片上(经过显影、定影)将显示出不同密度的阴影。

10、根据阴影浓淡的对比，结合临床表现、化验结果和病理诊断，即可判断人体某一部分是否正常。

11、于是，X射线诊断技术便成了世界上最早应用的非刨伤性的内脏检查技术。

12、参考资料来源：百度百科-xps（X射线光电子能谱分析(XPS)）。

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